真空泵的原理：
电机的圆周运动，通过机械装置使泵内部的隔膜做往复式运动，循环水真空泵，从而对固定容积的泵腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空（负压），在泵抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，罗茨真空泵，将气体压（吸）入泵腔，再从排气口排出。
真空泵的使用：
真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。满足真空设备的极限真空及工作压强要求。由于每种真空泵都有它的极限真空度，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。若设备严格要求无油时，应该选择各种无油泵，如：无油真空泵、水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油的旋片真空泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
每种泵都有一定的工作压强范围，如：SKA型水环式真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
旋片式真空泵，真空泵的工作原理，它有公平地装在定子腔内的转子及转子槽内的两个或数个旋片，转子与泵壳内外表或相切或相交，转子带动旋片旋转时，旋片借向心力（有的还有弹簧力）紧贴缸壁，把进排气口联系开来，并使进气腔容器周期性扩展而吸气，排气腔容积则周期性地减少而紧缩气体，借气体和油的压力推开排气阀排气，从而取得真空。双级泵由二个单级串联而成，进气压力高时，深圳真空泵，普通大中型泵，二级可同时排气，进气压力低时，气体由初级排入低级，然后再排出泵外。
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